半导体制造设备的水质管理

 电阻率(比电阻)测量模块:7733-A100 / 7741-A100(切割、背磨、光掩模等清洗水的水质控制)

电阻率计(电阻率计):7721-A100N / 7731-A121(如果以上需要显示功能)
电导率计(电导率计):7722-A102N(防腐化学加药设备等水质管理)

半导体制造设备形象

问题及介绍背景

  • 半导体被纳入各种产品中,包括个人电脑普通家庭使用的
  • 半导体制造经过许多步骤,过程中会使用各种化学品,而用于清洗的水(超纯水)对于产品质量非常重要,因此我们需要能够高精度测量的水质控制设备。
  • 半导体器件使用大量的传感器器件,利用PLC和触摸屏对各种数据进行汇总、显示和警报输出,因此不需要显示功能或警报输出功能,测量设备也需要小型化、高度化。要求尽可能准确。

采用点/主要采用机型

  • 在半导体制造设备行业,电阻率(电阻率)测量模块( 7733-A100 / 7741-A100)主要用作划片设备、抗静电装置等水质控制设备,每年采用量超过500台。拥有良好的业绩记录。
  • 适当的水质管理可以防止因清洗不充分引起的问题并适当控制清洗用水量,从而有助于确保产品质量并提高运转率。
  • 模块式水质计虽然没有显示功能或报警输出功能,但已缩小到只有测量输出(4-20mA输出),因此可以以节省空间的方式安装,且精度高,并且省略了显示功能,这允许低成本实施。
  • 有些型号能够切换测量范围,也可用于测量超纯水以外的水质。
  • 除模块式水质仪表外,我们还提供电阻率计(电阻率计)7721/7731系列、带显示功能的高精度测量型号、以及用于防腐化学品水质管理的电导率计(电导率计)加药设备(总计)7722/7732系列也得到广泛应用。