半导体制造设备的水质管理

 电阻率(比电阻)测量模块:7733-A100 / 7741-A100(切割、背磨、光掩模等清洗水的水质控制)

电阻率计(电阻率计):7721-A100N / 7731-A121(如果以上需要显示功能)
电导率计(电导率仪):7722-A102N(防腐化学加药设备等水质管理)

半导体制造设备形象

 

问题及介绍背景

  • 半导体被纳入各种产品中,包括普通家庭使用的个人电脑、智能手机和电视,以及子弹头列车和火车等物流系统、互联网、金融网络和医疗基础设施
  • 半导体制造的工序较多,过程中会使用各种化学药品,清洗所用的水(超纯水)对产品质量也很重要,因此需要能够高精度测量的水质控制设备。
  • 半导体器件使用大量的传感器器件,使用PLC和触摸屏对各种数据进行汇总、显示和警报输出,因此不需要显示功能和警报输出功能,并且需要与半导体设备一样紧凑且高精度的测量设备。可能是必需的

采用点/主要采用机型

  • 在半导体制造设备行业,电阻率(比电阻)测量模块(7733-A100 / 7741-A100 主要用作划片设备、抗静电装置等水质控制设备,每年使用量超过500台。有记录。
  • 适当的水质管理可以防止因清洗不足而引起的问题并适当控制清洗用水量,从而有助于确保产品质量并提高运转率。
  • 模块式水质计虽然不具备显示功能或报警输出功能,但已缩小到只有测量输出(4-20mA输出),因此可以高精度地安装在狭小的空间内,并且省略了显示功能,从而实现了低成本实施。
  • 有些型号能够切换测量范围,也可用于测量超纯水以外的水质。
  • 除了模块式水质计外,我们还提供带显示功能的高精度测量型号7721/7731系列电阻率计(电阻率计)以及用于水质管理的电导率计(电导率计)防腐化学加药设备。(总计)7722/7732系列也得到广泛应用。

半导体制造设备_使用图